集成电路应用杂志社

摘要：阐述模块化集成设计与多物理场协同控制策略。通过构建双回路压差生成系统实现0～7.5MPa范围的精密压力加载，创新设计螺旋-直线复合导向机构提升动态密封精度至±0.08mm，采用真空隔热与温度补偿算法将环境温度波动抑制在±0.3℃/h以内。

关键词： 检定装置;动态密封;压力控制;环境补偿;差压变送器;

DOI： 10.19339/j.issn.1674-2583.2025.11.024

专辑： 信息科技

专题： 自动化技术

分类号： TP212